安定同位体と特殊ガスのタツオカ

研究分野に特化したガスのトータルサポーター、タツオカ。
レスポンスに重点をおいた体制で、シリンダー、キャビネット、配管、装置機能までの供給をトータルにエンジニアリング

半導体製造研究用ガス( Semiconductor gas )

タツオカでは、実験・研究にかかせない半導体製造用ガスの供給元を多数確保しております。価格・納期・品質、そして高いレスポンスをお約束しておりますので、ぜひ、お問い合わせください。

少量の場合、超小型ボンベをご利用ください。

シリコン(Si)系SiH4 Si2H6 SiH2Cl2 SiF4 CH3SiH3 (CH3)3SiH3
ヒ素(As)系AsH3
リン(P)系PH3 PF3
ホウ素(B)系B2H6 BF3 11BF3 BCl3 
ゲルマニウム(Ge)系GeH4 GeF4
セレン(Se)系H2Se
タングステン(W)系WF6
フッ素(F)系CF4 CHF3 CH2F2 C2F6 C3F8 SF6 NF3
酸窒素(O・N)系NO N2O NH3
混合ガスSiH4/N2,H2,Ar,He PH3/N2,H2,Ar,He BCl3/N2,Ar,He O2/CF4 他
その他の半導体製造用ガスMO・GaN・SiCCVD用(アルシン・ホスフィン・プロパン他) 
キャリアバランスガス(H2・O2N2・He・Ar)