安定同位体と特殊ガスのタツオカ

研究分野に特化したガスのトータルサポーター、タツオカ。
レスポンスに重点をおいた体制で、シリンダー、キャビネット、配管、装置機能までの供給をトータルにエンジニアリング

真空計

クリスタル/コールドカソード コンビネーションゲージ CC-10

キセ CC-10は、最新のセンサー技術を取り入れ、12桁の圧力範囲(1.0×10-7 [Pa] 〜 1.0×105 [Pa])の連続測定を可能としたコンビネーションゲージです。

大気圧から1 [Pa]まではクリスタルゲージ、1 [Pa]から10-7 [Pa]まではコールドカソードゲージを使用し測定します。

センサー、回路部、ディスプレイ一体型により、本製品のみで圧力表示、セットポイントによるシステム制御が行えます。

また、CC-10はデジタル通信RS485を標準装備しております。

センサーの特徴

  • 大気圧から低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読み取ることにより、真空計測を行っています。精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。
  • 一方、高真空領域のコールドカソードゲージ部は、マグネトロン放電により残留ガスをイオン化し、圧力を測定します。センサーのボディーはGNDで、陰極として使用しています。コールドカソードゲージはホットカソードゲージと異なり、フィラメントを持たず、丈夫で信頼性の高い計測が行えます。

用途

  • 真空実験装置
  • 自動装置の真空制御
  • フィールドサービス用携行真空計
  • スパッタリング
  • 蒸着装置
  • セミコンアプリケーション
  • 走査型電子顕微鏡
  • 分析装置

真空計 CC-10 仕様

圧力測定範囲 1.0×10-7 [Pa] 〜 1.0×105 [Pa]
測定方法 大気圧〜1 [Pa]:クリスタルゲージ
1 [Pa]〜10-7 [Pa]:コールドカソードゲージ
センサーは圧力により自動切替
圧力表示 デジタル
信号出力 アナログ 0-10V
デジタル RS-485
セットポイント 3点
供給電源 DC 22-26V
寸法 97 x 70 x 160 mm
重量 700 g (NW25フランジ含む)
真空計、クリスタル/コールドカソード コンビネーションゲージ