安定同位体と特殊ガスのタツオカ

研究分野に特化したガスのトータルサポーター、タツオカ。
レスポンスに重点をおいた体制で、シリンダー、キャビネット、配管、装置機能までの供給をトータルにエンジニアリング

超小型ヘリウムスプレーガン

販売中止中
ご不便をおかけ致します。諸般の事情により、現在、当製品の供給/販売を保留しております。

ヘリウムスプレーガンとは

ヘリウムリークディテクタ必須アイテム
ヘリウムリークディテクタは、通常大気中に存在しないヘリウムを検出する装置です。
真空機器などの微小リークを探す場合、漏れが疑われる部分に局所的にヘリウムガスを吹き付けます。漏れ部分からヘリウムが吸い込まれ、真空ポンプの排気にヘリウムガスが検出されれば、その近辺で、溶接、ガスケット、0リング(オーリング)などの不良で気密が保たれていないことがわかります。
このテストをヘリウムリークテストと呼び、検出器をリークテスタとも呼びます。このテストでは検出器の精度も重要ですが、狙った場所に正確にヘリウムを吹き付けられる事が漏れ場所特定に大きく作用します。

検出器は感度が非常に良いので、複数箇所に問題がある場合、限定した場所にヘリウムを適量吐出できなければ、ピンポイントで問題箇所を特定できないからです。
スプレーガンはそのために必携の道具です。

超小型ヘリウムボンベ

一般のヘリウムガスボンベは、「4500L」という、比較的小型の容器でも、長さ約1m、直径約20cm、重量約30kgもあります。狭い場所、高所や現場での作業では小回りがききません。そこで、ボンベの高さ45cm、直径10cm、重量2.6kgの小型ヘリウムボンベを使った「超小型ヘリウムスプレーガン」が威力を発揮します。

超小型ヘリウムスプレーガン取扱説明書ヘリウムスプレーガン取扱説明書

特長

  • 吹きつけの超微量調節が可能
  • ノズルはフレキシブル
  • 狭い場所、高い所での作業に最適

用途

  • 半導体関連装置
  • スパッタリング装置
  • 蒸着装置
  • ロードロック
  • 走査型電子顕微鏡
  • 分析装置
等、各種真空機器のヘリウムリークテスト

超小型ヘリウムスプレーガン仕様

減圧弁 調整圧力 0〜0.15 Mpa
2次側リリーフタイプ
ガン ペンシルタイプバルブ付き
ノズル 直径 6 mmX長さ 200 mm
カールホース 長さ 約1 m 耐圧 0.98Mpa
ヘリウムボンベ
充填量 300L
内容積        2.0 L
充填圧力     14.7 Mpa
ボンベ重量   2.6 Kg
サイズ     H 450 X W 100
  • 300Lヘリウムボンベスプレーガン

    超小型ヘリウムスプレーガン300L
  • ケースに入ったスプレーガン

    ケースに入ったスプレーガン
    携帯ケースに入れて現場へ気軽に持ち運びできます

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