安定同位体と特殊ガスのタツオカ

研究分野に特化したガスのトータルサポーター、タツオカ。
レスポンスに重点をおいた体制で、シリンダー、キャビネット、配管、装置機能までの供給をトータルにエンジニアリング

スクロールポンプ

スクロールポンプ XDS35i

XDSベアリングシールドの採用で真空部分とベアリング部分を完全に 遮断する事によってベアリンググリースはプロセスガスや水蒸気から影響を受けず、オイルレスでクリーンな真空を実現しました

特長

  • インバータ駆動で供給周波数によらず排気速度は一定
  • リモートでON/OFF、ブースト運転、アイドリング運転機能付き
  • ベアリングシールドで完全オイルレスバキュームを実現
  • シンプルな構造でチャップシールの交換が容易
  • 3段ガスバラスト機能
     閉(0位置)
     ローフロー(I位置)
     ハイフロー(II位置)

用途

  • スパッタリング
  • 蒸着装置
  • ロードロック等のセミコンアプリケーション
  • 高価なガス(He・Xe等)の環境
  • 走査型電子顕微鏡
  • 分析装置
  • クリーン排気

スクロールポンプ XDS35i仕様

最大排気速度 35 m3 / h ( 583 L/min )
到達圧力 1 Pa
インレット接続 NW40
アウトレット接続 NW25
ガスバラスト
流量
0 L/min ( 0 位置 )
3 L/min ( I 位置 )
12 L/min ( II 位置 )
供給電源 単相 100 - 120 V
200 - 230 V 50/60 Hz
公称回転速度 1,750 rpm
最大傾斜角度 10 度
周囲温度範囲 10 ℃ 〜 40 ℃ ( 作動時 )
-30 ℃ 〜 70 ℃ ( 保管時 )
ポンプ表面温度 40 ℃ 〜 70 ℃
( 周囲温度に依存)
重量 48 Kg
スクロールポンプ XDS35i